要彻底清理谷歌浏览器的缓存文件，可以按照以下步骤操作：
1. 打开谷歌浏览器。
2. 点击右上角的菜单按钮（通常是一个三条横线的图标）。
3. 在弹出的菜单中，选择“设置”。
4. 在设置页面中，找到并点击“清除浏览数据”或“清除缓存和cookies”选项。
5. 在清除数据页面中，勾选需要清除的选项，然后点击“清除数据”。
6. 等待浏览器清除完成后，即可完成缓存文件的清理。